一． 主要功能特點
硬件系統(tǒng)
1、主機與控制箱分開，外形結(jié)構(gòu)簡單；
2、掃描探頭和樣品臺集成一體，抗干擾能力強；
3、精密激光定位裝置，使用時無需調(diào)節(jié)光斑位置；
4、采用精密探針定位模塊，更換探針簡單方便；
5、采用樣品趨近探針方式，使針尖垂直于樣品掃描；
6、伺服馬達手動或自動脈沖控制，驅(qū)動樣品垂直接近探針，實現(xiàn)掃描區(qū)域精確定位；
7、高精度大范圍的樣品移動裝置，可自由移動感興趣的樣品掃描區(qū)域；
8、高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器，根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇；
9、帶光學(xué)定位的CCD觀測系統(tǒng)，實時觀測與定位探針掃描樣品區(qū)域；
10、模塊化的電子控制系統(tǒng)設(shè)計，便于電路的持續(xù)改進與維護；
11、集成多種掃描工作模式控制電路，配合軟件系統(tǒng)使用；
12、彈簧懸掛式防震方式，簡單實用，抗干擾能力強。
13、帶溫控、濕控功能
軟件系統(tǒng)
13、可自由選擇圖像采樣點為256×256或512×512；
14、多通道圖像同步采集顯示，實時查看剖面圖；
15、可進行掃描區(qū)域偏移、剪切功能，任意選擇感興趣的樣品區(qū)域；
16、可任意選擇樣品起始掃描角度；
17、激光光斑檢測系統(tǒng)的實時調(diào)整功能；
18、可任意定義掃描圖像的色板功能；
19、支持樣品傾斜線平均、偏置實時校正功能；
20、支持掃描器靈敏度校正和電子學(xué)控制器自動校正；
21、支持樣品圖片離線分析與處理功能。
二． 主要技術(shù)指標(biāo)
22、工作模式：接觸、輕敲，可擴展相位、摩擦力、磁力或靜電力
23、樣品尺寸：Φ≤90mm，H≤20mm
24、最大掃描范圍：橫向20um，縱向2um
25、掃描分辨率：橫向0.2nm，縱向0.05nm
26、掃描速率：0.6Hz~4.34Hz
27、掃描角度：任意
28、樣品移動范圍：0～20mm
29、馬達趨近脈沖寬度：10±2ms
30、光學(xué)放大倍數(shù)： 4X
31、光學(xué)分辨率：2.5um
32、圖像采樣點：256×256，512×512
33、掃描控制：XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A
34、數(shù)據(jù)采樣：14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣
35、反饋方式：DSP數(shù)字反饋
36、反饋采樣速率：64.0KHz
37、計算機接口：USB2.0
38、運行環(huán)境：運行于Windows98/2000/XP/7/8操作系統(tǒng)